XPS

XPS，全称为X射线光电子能谱（X-ray Photoelectron Spectroscopy），是一种分析表面元素的化学状态、元素种类、以及化学键信息的技术。它通过使用X射线照射样品，激发样品表面的电子，测量这些电子的动能和能量分布，从而得到有关样品表面的详细信息。XPS分析具有非破坏性、高分辨率、元素灵敏度高、分析深度浅等特点，广泛应用于材料科学、化学、物理学等领域，用于研究表面的成分、化学态和电子结构等。在材料分析中，XPS可以揭示元素之间的相互作用和表面层的化学变化，对于研究薄膜、纳米材料、表面处理等具有重要意义。