SU8

SU8，全称“超紫外线光刻胶”，是一种用于微电子和光电子领域的高分辨率光刻技术中常用的光刻胶。它是一种液态的光刻材料，在紫外线照射下会迅速固化，形成光刻图案。SU8具有高分辨率、低应力、低膨胀系数等优良性能，适用于制作微米级甚至纳米级的精细图案。在半导体制造过程中，SU8常用于制造集成电路的图案转移，是半导体制造中不可或缺的关键材料。此外，SU8在微机电系统（MEMS）、生物微电子等领域也有着广泛的应用。